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SMX-6010無(wú)損檢測(cè)微焦點(diǎn)X射線(xiàn)透視檢測(cè)儀

Xslicer SMX-6010是一款堅(jiān)直照射型x射線(xiàn)檢查設(shè)備,，配備了島津生產(chǎn)的微焦點(diǎn)x射線(xiàn)發(fā)生器和高分辦率平板探測(cè)器。通過(guò)高清晰度和寬動(dòng)態(tài)范圍圖像,，可以觀(guān)察到細(xì)微的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和缺陷。此外,，可以簡(jiǎn)單快速地進(jìn)行透視/CT模式切換,，根據(jù)工作要求實(shí)施多種觀(guān)察。Xslicer SMX-6010所覆蓋的檢查從體積不斷縮小的電子元件到密度日益提高的多層實(shí)裝基板,。

■ 傾斜CT

傾斜CT拍攝大型實(shí)裝板等時(shí)

因樣品在XY載物臺(tái)上,，所以可移近X射線(xiàn)發(fā)生裝置，進(jìn)行高倍放大拍攝,。

■ 直線(xiàn)CT

直線(xiàn)CT拍攝大型基板等時(shí)

如果為獲得高放大倍率而將樣品靠近X射線(xiàn)發(fā)生裝置側(cè),，CT拍攝中樣品會(huì)與X射線(xiàn)互相干擾，從而無(wú)法進(jìn)行高倍放大攝影,。

如果是基板上的樣品,，則不同于受樣品寬度影響的直線(xiàn)CT，傾斜CT可進(jìn)行高放大倍率攝影,。

無(wú)損檢測(cè)儀微焦點(diǎn)X射線(xiàn)透視檢查裝置

系統(tǒng)構(gòu)成

方便維護(hù)的本公司自制X射線(xiàn)發(fā)生裝置與搭載各種安全機(jī)構(gòu)的系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)更低成本、更安全的使用.

X射線(xiàn)發(fā)生裝置:搭載了管電壓160kV·1μm分辨率 開(kāi)放管X射線(xiàn)發(fā)生裝置,。實(shí)現(xiàn)高壓發(fā)生器的一體化,，無(wú)需進(jìn)行高壓電纜維護(hù)。自動(dòng)調(diào)整功能,，使更換燈絲更加簡(jiǎn)便,。
※1μm分辨率：JIMA Chart測(cè)試

X射線(xiàn)檢出器:搭載300萬(wàn)像素平板檢出器。

5軸載物臺(tái)
除搭載樣品的載物臺(tái)的XYZ軸外,，檢出器也會(huì)傾斜,、旋轉(zhuǎn)。5軸聯(lián)動(dòng),，支持所有角度的檢查,。