ICP-MS所用電離源是感應(yīng)耦合等離子體(ICP)，它與原子發(fā)射光譜儀所用的,，其主體是一個(gè)由三層石英套管組成的炬管,，炬管上端繞有負(fù)載線圈，三層管從里到外分別通載氣,，輔助氣和冷卻氣,，負(fù)載線圈由高頻電源耦合供電，產(chǎn)生垂直于線圈平面的磁場,。如果通過高頻裝置使氬氣電離,，則氬離子和電子在電磁場作用下又會(huì)與其它氬原子碰撞產(chǎn)生更多的離子和電子，形成渦流,。強(qiáng)大的電流產(chǎn)生高溫,，瞬間使氬氣形成溫度可達(dá)10000k的等離子焰炬。樣品由載氣帶入等離子體焰炬會(huì)發(fā)生蒸發(fā),、分解,、激發(fā)和電離，輔助氣用來維持等離子體,，需要量大約為1 L/min,。冷卻氣以切線方向引入外管，產(chǎn)生螺旋形氣流,，使負(fù)載線圈處外管的內(nèi)壁得到冷卻,，冷卻氣流量為10-15 L/min。