三為科學(xué)光刻膠高壓計(jì)量泵是采用凸輪傳動(dòng)的高壓柱塞泵,，輸液液體粘度可以達(dá)到1000厘泊（cP）,，高精度無(wú)脈沖連續(xù)供膠，可以用于涂膠顯影機(jī)中輸送光刻膠,，sanotac光刻膠高壓計(jì)量泵還具有：在線流量和壓力變化曲線、客戶端流量校正，按體積輸送功能和按重量輸送功能,，Modbus協(xié)議，232/485,，PLC模擬量輸入：0—5V , 4—20 mA,；流量精度高、壓力脈沖低,，重復(fù)性好,，質(zhì)量?jī)?yōu)異。

技術(shù)特點(diǎn)：

1,，  壓力保護(hù)設(shè)定：可設(shè)置壓力上限和壓力下限,；

2，  壓力脈沖低 ,， 采用凸輪曲線補(bǔ)償和流量脈沖電子抑制技術(shù),；

3,，  流速單位切換：按體積輸送ml/min和按質(zhì)量輸送g/min；

4,，  流量校準(zhǔn)：提供用戶參數(shù)區(qū)用于校準(zhǔn)泵的流速,，滿足不同系統(tǒng)工況需求；

5,，  流量控制程序： 提供兩種運(yùn)行程序,，恒流運(yùn)行和梯度運(yùn)行；

6,，  壓力曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前壓力曲線,，直觀判斷設(shè)備運(yùn)行狀況；

7,，  流量曲線顯示：各設(shè)備分別顯示當(dāng)前運(yùn)行的流量曲線,；

8，  支持RS-232,，RS-485,，RS-422；Modbus RTU和 ASCII協(xié)議,；

9,， 一對(duì)多控制，單泵操作和多元梯度操作自由選擇,，可擴(kuò)展1對(duì)32操作,；

10， 運(yùn)行數(shù)據(jù)保存：開(kāi)啟或停止數(shù)據(jù)記錄,，將壓力曲線和流量曲線保存至Excel格式文件中,。

11， 設(shè)置方法保存：保存運(yùn)行參數(shù)設(shè)置,，如串口端口參數(shù),，壓力保護(hù)值，流量控制程序等,。

12,， 可以實(shí)現(xiàn)流體入口天平減重系統(tǒng)的閉環(huán)控制（根據(jù)客戶天平規(guī)格定制）。

高粘度高壓柱塞泵產(chǎn)品參數(shù)：