涂布層四探針電阻率測試儀操作手冊

應用說明

覆蓋膜;導電高分子膜,，高,、低溫電熱膜;隔熱,、導電窗膜 導電(屏蔽)布,、裝飾膜,、裝飾紙;金屬化標簽,、合金類箔膜;熔煉,、燒結(jié),、濺射,、涂覆、涂布層,，電阻式,、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導體材料,、薄膜材料方阻測試

二．描述

采用四探針組合雙電測量方法,，液晶顯示，自動測量,，自動量程,，自動系數(shù)補償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出,；選配：PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.

涂布層四探針電阻率測試儀操作手冊

雙電測數(shù)字式四探針測試儀是運用直線或方形四探針雙位測量,。該儀器設(shè)計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準。利用電流探針,、電壓探針的變換,，進行兩次電測量，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,，解決樣品幾何尺寸,、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響.

功能描述Description：

• 四探針組合雙電測量方法
• 液晶顯示，自動測量,，自動量程,，自動系數(shù)補償.
• 集成電路系統(tǒng),、恒流輸出.
• 選配：PC軟件進行數(shù)據(jù)管理和處理.
• 提供中文或英文兩種語言操作界面選擇

參照標準：

1.硅片電阻率測量的標準（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》.

4.GB/T 1552-1995《硅,、鍺單晶電阻率測定直流四探針法》.

雙電組合測試方法：

利用電流探針,、電壓探針的變換，進行兩次電測量,，對數(shù)據(jù)進行雙電測分析,，解決樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結(jié)果的影響,，適用于斜置式四探針對于微區(qū)的測試,。