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序號

采購項(xiàng)目名稱

采購需求概況

預(yù)算金額（萬元）

預(yù)計(jì)采購日期

1

超分辨超快光譜系統(tǒng)

1.飛秒激光器光源,；2.超快瞬態(tài)吸收顯微成像系統(tǒng),；3.超快電鏡；4.拉曼光譜儀,；5.振動切片機(jī),。

1300

2025年04月

2

光學(xué)遙感相機(jī)仿真設(shè)計(jì)與測試設(shè)備

采購集成仿真系統(tǒng)、光學(xué)設(shè)計(jì)軟件,、動態(tài)干涉儀,、600mm口徑平行光管、鏡頭智能化裝調(diào)測試系統(tǒng)等國產(chǎn)設(shè)備及軟件

1300

2025年04月

3

玻璃基加工設(shè)備

擬采購濕法刻蝕機(jī),，電鍍機(jī),，CVS，電位滴定,，涂膠機(jī),，去膠機(jī)，化鍍機(jī),，激光誘導(dǎo)機(jī),，研磨機(jī),，切割機(jī)（玻璃），印刷機(jī),，回流機(jī),，F(xiàn)lux清洗機(jī)，鍵合機(jī)（晶圓鍵合）,，解鍵合機(jī)用于玻璃基加工,。

2353

2025年04月

4

先進(jìn)傳感測試系統(tǒng)

擬采購FIB-SEM雙束電鏡 ，臺階儀 ,，瞬態(tài)光致發(fā)光光譜測試儀,，圓二色譜儀，532nm 脈沖激光器,， 超景深光學(xué)顯微鏡,，氣質(zhì)聯(lián)用儀，用于先進(jìn)傳感測試,。

1755

2025年04月

5

先進(jìn)測試加工設(shè)備

擬采購超連續(xù)譜光纖激光器,，魯汶儀器Pishow電感耦合等離子體刻蝕平臺，超導(dǎo)磁體探針臺,，物理氣相沉積設(shè)備（PVD）設(shè)備用于先進(jìn)測試加工,。

1816

2025年04月

6

MEMS傳感器封裝測試設(shè)備

擬采購MEMS晶圓片測試、封裝,、MEMS傳感器芯片參數(shù)測試,、可靠性測試等相關(guān)設(shè)備，用于驗(yàn)證MEMS傳感器芯片的各項(xiàng)性能與指標(biāo),。

3007

2025年04月

7

MEMS傳感器特種加工工藝設(shè)備

擬采購摻雜設(shè)備,、深硅刻蝕設(shè)備，用于MEMS傳感器摻雜,，實(shí)現(xiàn)阻值調(diào)控,；高質(zhì)量的通孔。

3100

2025年04月

8

光學(xué)遙感相機(jī)集成裝調(diào)相關(guān)設(shè)備

采購氣浮光學(xué)平臺,、焦面拼接儀,、大口徑平行光管及平面鏡、光學(xué)相機(jī)智能集成測試系統(tǒng)等國產(chǎn)設(shè)備,。

2700

2025年04月

9

MEMS傳感器制造設(shè)備

擬采購管熱爐,、濕法蝕刻、勻膠顯影,、干法蝕刻,、薄膜沉積等相關(guān)設(shè)備，用于MEMS傳感器加工制備。

4693

2025年04月

10

光學(xué)遙感相機(jī)高性能測試設(shè)備

采購光譜反射率及發(fā)射率測試儀,、高性能示波器和矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,、激光干涉儀等設(shè)備、紅外熱像儀,、紅外光譜輻射計(jì),、可見近紅外光譜輻射計(jì)、可見短波紅外光譜輻射計(jì),、振動模態(tài)測試分析系統(tǒng),、大氣傳輸軟件等進(jìn)口設(shè)備及軟件。

19000

2025年04月

11

光學(xué)遙感相機(jī)環(huán)境試驗(yàn)相關(guān)設(shè)備

采購振動臺,、高低溫試驗(yàn)類設(shè)備、真空罐,、光學(xué)相機(jī)測控溫系統(tǒng)等國產(chǎn)設(shè)備,。

1100

2025年04月

12

光學(xué)遙感相機(jī)成像性能測試相關(guān)設(shè)備

采購輻射響應(yīng)測試裝置、光譜定標(biāo),、積分球光源,、真空低溫黑體、相機(jī)地檢及成像測試系統(tǒng),、相機(jī)轉(zhuǎn)臺等國產(chǎn)設(shè)備,。

1200

2025年04月

13

光電微納掃描測頭檢測與裝調(diào)設(shè)備

為滿足光電微納掃描測頭研制過程的檢測與裝調(diào)需求,，采購進(jìn)口設(shè)備包括LDLS高亮寬譜光源、LDLS光纖輸出光源、高精度六足并聯(lián)調(diào)整臺等,，國產(chǎn)設(shè)備包括300mm離軸反射式平行光管、可見光平行光管等,。

556.5

2025年04月

14

超分辨工業(yè)相機(jī)性能測試相關(guān)設(shè)備

為滿足超分辨工業(yè)相機(jī)性能測試需求,，采購進(jìn)口設(shè)備包括寬光譜MTF測量儀等，國產(chǎn)設(shè)備包括可見光至短波紅外光譜掃描成像系統(tǒng),、中波紅外光譜掃描成像系統(tǒng),、小型六足并聯(lián)調(diào)整臺、多自由度雙工件臺系統(tǒng)等,。

1162

2025年04月

15

顯微物鏡超精密檢測與裝調(diào)設(shè)備

為滿足顯微物鏡超精密檢測與裝調(diào)需求,，采購進(jìn)口設(shè)備包括中心偏差測量儀、高精度折射率測量儀,、超精密定心車與單點(diǎn)車,、紫外至近紅外分光光度計(jì)。

1398

2025年04月

16

晶圓缺陷檢測裝備研制項(xiàng)目

為滿足晶圓缺陷檢測裝備研制過程中的檢測,、裝調(diào),、實(shí)驗(yàn)需求，采購進(jìn)口設(shè)備包括266nm紫外干涉儀，采購國產(chǎn)設(shè)備包括四維精密運(yùn)動臺,、高速旋轉(zhuǎn)掃描臺,、高功率深紫外激光器、高功率紫外連續(xù)激光,。

1165.5

2025年04月