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關(guān)注納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展 天仁微納攜納米壓印光刻設(shè)備亮相納博會
2024年10月25日 15:13:58 來源：化工儀器網(wǎng) 作者：小王 點擊量：8634

此次納博會吸引了全球納米科技領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)企業(yè)及眾多行業(yè)內(nèi)的精英匯聚一堂，共襄盛舉,。青島天仁微納科技有限責(zé)任公司(以下簡稱：天仁微納)作為參展企業(yè)之一,，攜旗下GL300 Cluster 200/300mm全自動納米壓印光刻生產(chǎn)線、GL8 CLIV Gen2 200mm高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備,、UniPrinter桌面型納米壓印光刻設(shè)備等產(chǎn)品亮相展會,。

　　【化工儀器網(wǎng) 展會報道】2024年10月23日至25日，第十四屆中國國際納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)博覽會(以下簡稱：納博會)在蘇州國際博覽中心舉辦,。大會由峰會,、展覽、大賽,、對接會等部分組成,，重點聚焦納米新材料、微納制造,、第三代半導(dǎo)體,、納米壓印、納米大健康,、能源與清潔技術(shù),、納米生物技術(shù)等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，是我國納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)大規(guī)模國際性盛會,，同時也是企業(yè),、高校及科研單位進行納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)交流合作的重要平臺。
 
　　此次納博會吸引了全球納米科技領(lǐng)域的優(yōu)質(zhì)企業(yè)及眾多行業(yè)內(nèi)的精英匯聚一堂,，共襄盛舉,。青島天仁微納科技有限責(zé)任公司(以下簡稱：天仁微納)作為參展企業(yè)之一，攜旗下GL300 Cluster 200/300mm全自動納米壓印光刻生產(chǎn)線,、GL8 CLIV Gen2 200mm高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備,、UniPrinter桌面型納米壓印光刻設(shè)備等產(chǎn)品亮相展會。
 

 
　　天仁微納成立于2015年，是專業(yè)的微納加工設(shè)備和解決方案提供商,。公司自成立以來始終專注于納米加工領(lǐng)域，核心競爭力是為客戶提供納米壓印整體解決方案,。目前天仁微納產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備,、模具、材料,、工藝以及生產(chǎn)咨詢,。憑借自身領(lǐng)先的技術(shù)、完善的售后服務(wù)和快速的市場應(yīng)對能力,，天仁微納在納米壓印領(lǐng)域取得了顯著的市場地位,。
 
　　GL300 Cluster 200/300mm全自動納米壓印光刻生產(chǎn)線
 

 
　　天仁微納此次推出的GL300 Cluster是功能強大的全自動納米壓印光刻生產(chǎn)線，它集成了從納米壓印晶圓預(yù)處理工藝,，直至納米壓印光刻全套工藝步驟,。產(chǎn)品標配天仁微納CLIV(Contact Litho into Vacuum)壓印技術(shù)，可實現(xiàn)200/300mm基底面積上全自動高精度,、高深寬比納米結(jié)構(gòu)復(fù)制量產(chǎn),。
 
　　設(shè)備采用模塊化設(shè)計，用戶可以根據(jù)工藝需求和生產(chǎn)節(jié)奏自由配置晶圓清洗,、涂膠,、烘烤、冷卻,、Plasma表面處理,、AOI檢測、Post Cure以及納米壓印的模塊數(shù)量,，達到最優(yōu)的生產(chǎn)效率,。此外，GL300 Cluster還支持全自動工作模具復(fù)制,、工作模具自動更換,、自動預(yù)處理和自動對位、自動壓印,、自動脫模,，全部工藝過程在密閉潔凈環(huán)境中進行，以保證壓印結(jié)果質(zhì)量,。
 
　　GL8 CLIV Gen2 200mm高精度紫外納米壓印光刻設(shè)備
 

 
　　GL8 CLIV Gen2是天仁微納新型全幅高精度紫外納米壓印設(shè)備,，產(chǎn)品同樣標配天仁微納CLIV壓印技術(shù)，可在200mm以下晶圓面積上實現(xiàn)高精度(結(jié)構(gòu)精度優(yōu)于10納米),、高深寬比(深寬比優(yōu)于10：1)納米結(jié)構(gòu)復(fù)制,。
 
　　GL8 CLIV Gen2支持自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具，工作模具具有精度高,、壽命長等特點,，可以顯著降低大面積納米壓印工藝中模具使用成本,。CLIV技術(shù)的應(yīng)用保證了納米壓印結(jié)構(gòu)的精度與高深寬比結(jié)構(gòu)的完整填充，同時保證了大面積結(jié)構(gòu)壓印均勻性,。
 
　　UniPrinter桌面型納米壓印光刻設(shè)備
 

 
　　UniPrinter是一種專門為大學(xué),、科研院所和企業(yè)產(chǎn)品研發(fā)所設(shè)計，操作簡單,、功能強大的臺面型納米壓印光刻設(shè)備,。產(chǎn)品可實現(xiàn)4英寸以下晶圓面積上高精度、高深寬比納米結(jié)構(gòu)壓印,，適合用作紫外納米壓印光刻工藝開發(fā),，器件原型快速驗證，納米壓印材料測試等研發(fā),。設(shè)備內(nèi)自動復(fù)制柔性復(fù)合工作模具,，自動壓印、自動曝光固化,、自動脫模,，工藝過程無需人工干預(yù)。同時設(shè)備還沿用了天仁微納量產(chǎn)型納米壓印設(shè)備的工藝與材料體系,，在該設(shè)備上開發(fā)的工藝可以無障礙轉(zhuǎn)移到天仁微納量產(chǎn)設(shè)備上進行生產(chǎn),。
 
　　納米壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展了二十余年，隨著技術(shù)的不斷進步和成本的降低,，納米壓印技術(shù)逐漸受到市場的關(guān)注,，并在越來越多領(lǐng)域得到應(yīng)用。由于納米壓印技術(shù)的加工過程不使用可見光或紫外光加工圖案,，而是使用機械手段進行圖案轉(zhuǎn)移,，這種方法能達到很高的分辨率，并且模板可以反復(fù)使用,，大大降低了加工成本,、縮短了加工時間，因此納米壓印技術(shù)被認為是一種有望代替現(xiàn)有光刻技術(shù)的加工手段,。
 
　　天仁微納作為國內(nèi)較早涉足納米壓印技術(shù)領(lǐng)域技術(shù)及產(chǎn)品開發(fā)的企業(yè),，正用產(chǎn)品引領(lǐng)著納米壓印技術(shù)的國產(chǎn)崛起。展會期間我們看到了眾多客戶來到天仁微納的展位進行交流,，其中不乏國際友人,，這也足以見的天仁微納的實力。
 
　　納米壓印技術(shù)的發(fā)展正需要天仁微納這樣執(zhí)著于技術(shù)的企業(yè)來推動,。相信在不久的將來,，天仁微納會推出更多精度更高、功能更全面的納米壓印光刻設(shè)備，而這些設(shè)備也將進一步打開光刻技術(shù)的發(fā)展前景,，為納米產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出新的貢獻,。
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