化工儀器網(wǎng)手機版
移動端訪問更便捷
今日焦點 Today's Focus
查看更多+-
大咖講課不容錯過,！“新材料分析檢測技術(shù)”線上會議邀您報名
2025年4月25日14:00，化工儀器網(wǎng)特聯(lián)合賽默飛世[詳細]
最新產(chǎn)品 Latest productS
查看更多+
使用低溫傅立葉變換紅外光譜法 測定硅單晶的標準征求意見稿發(fā)布
2021年03月04日 08:35:47
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：8277
根據(jù)《國家標準化管理委員會關(guān)于下達2020年推薦性國家標準計劃(修訂)的通知》(國標委發(fā)[2020]6號)的要求，樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所修訂了《硅單晶中III,、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》,。目前，標準征求意見稿已經(jīng)發(fā)布,，正面向社會征求意見,。
【化工儀器網(wǎng) 標準】硅單晶是IC集成電路、半導體功率器件及太陽能光伏發(fā)電的基礎(chǔ)材料,，硅單晶的重要電學參數(shù)導電類型和電阻率取決于硅單晶中III,、V族雜質(zhì)的含量。而硅單晶是由高純度的多晶硅經(jīng)區(qū)熔或直拉的方式者拉制而成,，因此多晶硅中III,、V族雜質(zhì)的含量是影響硅單晶產(chǎn)品質(zhì)量的重要技術(shù)指標。目前多晶硅中III,、V族雜質(zhì)含量的測定方法繁瑣，已經(jīng)不能充分適應(yīng)目前半導體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的需要,，故而需要對GB/T24581-2009進行修訂,。
根據(jù)《國家標準化管理委員會關(guān)于下達2020年推薦性國家標準計劃(修訂)的通知》(國標委發(fā)[2020]6號)的要求，樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗所修訂了《硅單晶中III,、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》,。目前，標準征求意見稿已經(jīng)發(fā)布,，正面向社會征求意見,。
與GB/T24581-2009相比，本次修訂的標準除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外,，主要技術(shù)變化如下：在規(guī)范性引用文件中用國家標準代替國外標準,；將3.2條改為“5.2 如果沒有足量連續(xù)的白光，補償?shù)氖┲骱褪苤鲗⒉划a(chǎn)生吸收,，故白光強度須足夠強以完全抵消所有施主和受主的補償,。使用者通過逐步增加儀器白光光強，來確定III,、V族雜質(zhì)吸收峰的面積或高度不再受光強增加影響的白光強度”,；增加6.2條“高純氮，體積分數(shù)≥99.999%”,；增加第6章“試劑和材料”,，章條好順延；增加7.5條“千分尺,，精度不低于0.01mm”,；將第12章與第13章合并,，章條號順延等。
閱讀標準征求意見稿后可知,，本標準所使用的低溫傅立葉變換紅外光譜法原理是將硅單晶樣品冷卻至15k以下,，此時自由載流子的影響可忽略不計，其紅外光譜主要是由雜質(zhì)元素引起的一系列吸收譜帶,，用一個連續(xù)白熾燈光源照射樣品,，使其光線能量大于補償雜質(zhì)的能帶，再將紅外光束直接透射樣品,，采集透射光譜,，該光譜扣除背景光譜后會轉(zhuǎn)化為吸收光譜。在雜質(zhì)元素特征吸收譜帶上建立基線并計算其吸收譜帶面積,，后根據(jù)比耳定律機本文件給出的各雜質(zhì)元素的校準因子計算出各雜質(zhì)元素的含量即可,。
《硅單晶中III、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》也表明了實驗需要用到低溫恒溫箱,、樣品架,、傅立葉變換紅外光譜儀、千分尺,、白光光源等,。
本標準修訂結(jié)合標準的實際使用情況對原標準的技術(shù)內(nèi)容進行適當修改，同時增加了多個實驗室的測量精密度,，提高了標準的實用性,、可操作性及先進性，使GB/T24581更為完善,，也相信在其正式實施后能更好地滿足半導體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要,。
相關(guān)閱讀 Related Reading
查看更多+-
預(yù)算7949.5萬元 廣西一高校教學科研儀器設(shè)備更新
玉林師范學院計劃采購便攜式高精度 X 熒光光譜儀、全自動高效液相色譜儀,、超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡等儀器設(shè)備,，預(yù)算總金額達794...2025-04-24 16:56:00 -
中國科學院上海技術(shù)物理研究所研究員陸衛(wèi),、李冠海,、陳效雙團隊，成功研制出基于非線性憶阻計算技術(shù)的新型微型光譜儀，實現(xiàn)0.18 nm級...2025-04-24 11:25:06
-
三大創(chuàng)新儀器解碼多場景環(huán)境監(jiān)測 四方儀器閃耀2025中國環(huán)博會
作為一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術(shù)企業(yè),，四方光電（武漢）儀器有限公司攜前沿技術(shù)成果驚艷亮相,，全方位展現(xiàn)其以核心傳感技...2025-04-24 09:33:09 -
近日，昭通市檢驗檢測院就“昭通市檢驗檢測院2024年檢驗檢測能力提升設(shè)備采購”項目發(fā)布公開招標公告,，預(yù)算金額為200萬元,。2025-04-23 10:00:36
-
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀及配套消解設(shè)備中標結(jié)果公告
項目名稱：上海新材料研究院電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀及配套消解設(shè)備，項目編號：0720-2540zbzx0031/01,，招標范圍：...2025-04-22 09:42:34 -
預(yù)算1165萬元 昌吉回族自治州公安局采購檢測專用儀器
近日,，昌吉回族自治州公安局委托昌吉回族自治州政務(wù)服務(wù)和公共資源交易中心組織公開招標，采購固相萃取儀,、紅外光譜儀等檢測儀器,，預(yù)算11...2025-04-18 14:30:07
版權(quán)與免責聲明
- ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載,、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用,，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任,。
- ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息,，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任,。其他媒體,、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,，并自負版權(quán)等法律責任,。
- ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
