電鍍設(shè)備
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 研啟科學(xué)儀器(東莞)有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2024/10/22 16:54:23
- 訪問次數(shù) 100
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純水機(jī),,離心機(jī),,旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀,光譜儀,,質(zhì)譜儀,頻譜儀,,示波器,,掃描電子顯微鏡,電化學(xué)工作站,,,流式細(xì)胞儀,,手套箱,磁控濺射
v 應(yīng)用領(lǐng)域:Pillar,,Bump,,RDL,TSV等工藝
v 晶圓尺寸:150mm~300mm
v 設(shè)備配置:
? 最多3個loadport
? 最多24個電鍍腔體:Cu,、Ni,、Sn/Ag、Au
? 最多4個預(yù)濕腔體,,4個清洗腔體
? 水平式電鍍腔體,,無交叉污染
? 支持模塊化維護(hù),提高設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間
? 橡膠密封技術(shù),,更佳密封性能
? 陰陽極分離技術(shù),,更佳鍍液穩(wěn)定性
v 工藝指標(biāo):
v 高度均勻性:WiW≤5% WtW≤5% RtR≤5%