本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華，北大,，浙大，半導(dǎo)體所,，微電子所，物理所等高校研究所共同進(jìn)步,，為華為,，三安光電，中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護(hù)航,，也被一些海外的教授專家所青睞,。如香港理工大學(xué)，香港中文大學(xué),，香港科技大學(xué),。美國堪薩斯州立大學(xué)，美國揚(yáng)斯頓州立大學(xué)和新加坡南洋理工大學(xué)也有數(shù)臺(tái)在科研教學(xué)一線。