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無機�(zhì)譜概�
  • 主編�
  • 趙墨�,、曹永明,、陳剛、姜�
  • 出刊日期�
  • 2006/3/1 0:00:00
  • 定價�
  • 39
  • 出版單位�
  • 化工出版�
  • 期刊號:
  • 7-5025-8161-8
  • 推薦指數(shù)�
  • 4�
目錄
目錄
第一章無機質(zhì)譜分析方法發(fā)展的歷史背景1
第一節(jié)�(zhì)譜儀�1
一,、分析器1
�,、離子源4

第二節(jié)分析方法9

一、火花源�(zhì)譜法10

�,、輝光放電質(zhì)譜法11

�,、二次離子質(zhì)譜法12

�,、電感耦合等離子體�(zhì)譜法14

五、同位素稀釋質(zhì)譜法16

�,、激光電離質(zhì)譜法17

�,、共振電離質(zhì)譜法18

八、加速器�(zhì)譜法19

參考文�19

第二章輝光放電質(zhì)譜法22

第一節(jié)引言22

第二節(jié)輝光放電基本原理23

一,、輝光放�23

�,、輝光放電的濺射和電�24

三、輝光放電質(zhì)�26

第三節(jié)儀�29

一,、離子源29

�,、質(zhì)量分析器32

三、檢測系�(tǒng)34

第四節(jié)輝光放電�(zhì)譜分析及特點35

一,、樣品制備與預處�35

二、分析參�(shù)的選擇與分析過程36

�,、半定量和定量分�37

�,、分析特點和性能比較40

第五節(jié)應用42

一、金屬及半導體材料分�42

�,、非導體材料分析47

�,、深度分�49

參考文�52

第三章二次離子質(zhì)譜法54

第一節(jié)引言54

第二節(jié)一次離子束64

一、一次離子源64

�,、一次離子束光路67

第三節(jié)入射離子與樣品的相互作用(二次離子發(fā)射機理)72

一,、濺射產(chǎn)�72

二、二次離子產(chǎn)�80

第四節(jié)�(zhì)譜儀與離子檢測系�(tǒng)84

一,、質(zhì)譜儀84

�,、離子信號檢測系�(tǒng)87

第五節(jié)二次離子�(zhì)譜儀90

一、二次離子質(zhì)譜儀的分�90

�,、IMS�6F型二次離子質(zhì)譜儀93

�,、樣�95

第六節(jié)二次離子�(zhì)譜法的功�95

一、深度剖�95

�,、絕緣樣品的分析108

�,、質(zhì)譜分析——質(zhì)量掃�109

四、線掃描,,二次離子質(zhì)譜的橫向線分�110

�,、微區(qū)分析110

六、三維分�112

第七節(jié)二次離子�(zhì)譜法的定量分�112

第八節(jié)二次離子�(zhì)譜法的應�118

一,、質(zhì)譜分析——大分子有機物的鑒別118

�,、深度剖析——IC工藝的探�120

三、線掃描分析——金屬中雜質(zhì)氫的檢測121

�,、同位素分析——核燃料235U是否給周圍環(huán)境帶來放射性污染的

檢測122

�,、二次離子圖像分析——馬口鐵組分的三維分�124

�,、絕緣樣品的分析——雜�(zhì)在SOI材料中的分布124

七、高深度分辨率分析——IC工藝的淺�(jié)剖析125

�,、硅中痕量硼二次離子�(zhì)譜定量分析的�?,F(xiàn)�126

參考文�128

第四章激光微探針�(zhì)譜法130

第一節(jié)引言130

第二節(jié)激光束132

一、激光輻�132

�,、諧振腔133

�,、調(diào)Q(Q開關(guān))技�(shù)134

四、電光調(diào)制Q135

�,、激光的聚焦136

�,、激光的倍頻137

第三節(jié)激光與固體的相互作�138

一、激光等離子體屏蔽概�139

�,、有機物和無機物的激光解�140

第四節(jié)儀�141

第五節(jié)激光微探針�(zhì)譜法的應�146

一,、半導體器件表面及體�(nèi)雜質(zhì)的鑒�147

二、各種材料微區(qū)沾污物的分析149

�,、在生物,、醫(yī)學領(lǐng)域的應用151

參考文�152

第五章加速器�(zhì)譜分�153

第一節(jié)加速器�(zhì)譜分析原�153

第二節(jié)加速器�(zhì)譜裝�155

一、離子源與注入器155

�,、加速器156

�,、高能分析器156

四、粒子探測器156

�,、其他加

本書�(nèi)容分為兩部分:第一部分概括性地敘述了質(zhì)譜法,,特別是無機�(zhì)譜法的起源、發(fā)展和完善過程,,以及在近代自然科學�(fā)展歷程中它所扮演的重要角�,,使讀者得以簡要了解質(zhì)譜技�(shù),并對無機質(zhì)譜有全面概括地了�,。第二部�,,也是本冊書的主要部分,分別從實驗和使用角度描述了輝光放電質(zhì)�,、二次離子質(zhì)�,、激光微探針�(zhì)譜、加速器�(zhì)譜和同位素稀釋質(zhì)譜的基本原理,、實驗方法和主要應用,。并在書末列出了國際最新的原子�(zhì)量、原子量與同位素表等,�

本書適宜從事無機�(zhì)譜分析和借助于無機質(zhì)譜方法進行科學研究的科技人員學習參�,,也可作為大專院校相�(guān)專業(yè)師生的參考書�

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