目錄
第一章無機質(zhì)譜分析方法發(fā)展的歷史背景1
第一節(jié)�(zhì)譜儀�1
一,、分析器1
�,、離子源4
第二節(jié)分析方法9
一、火花源�(zhì)譜法10
�,、輝光放電質(zhì)譜法11
�,、二次離子質(zhì)譜法12
�,、電感耦合等離子體�(zhì)譜法14
五、同位素稀釋質(zhì)譜法16
�,、激光電離質(zhì)譜法17
�,、共振電離質(zhì)譜法18
八、加速器�(zhì)譜法19
參考文�19
第二章輝光放電質(zhì)譜法22
第一節(jié)引言22
第二節(jié)輝光放電基本原理23
一,、輝光放�23
�,、輝光放電的濺射和電�24
三、輝光放電質(zhì)�26
第三節(jié)儀�29
一,、離子源29
�,、質(zhì)量分析器32
三、檢測系�(tǒng)34
第四節(jié)輝光放電�(zhì)譜分析及特點35
一,、樣品制備與預處�35
二、分析參�(shù)的選擇與分析過程36
�,、半定量和定量分�37
�,、分析特點和性能比較40
第五節(jié)應用42
一、金屬及半導體材料分�42
�,、非導體材料分析47
�,、深度分�49
參考文�52
第三章二次離子質(zhì)譜法54
第一節(jié)引言54
第二節(jié)一次離子束64
一、一次離子源64
�,、一次離子束光路67
第三節(jié)入射離子與樣品的相互作用(二次離子發(fā)射機理)72
一,、濺射產(chǎn)�72
二、二次離子產(chǎn)�80
第四節(jié)�(zhì)譜儀與離子檢測系�(tǒng)84
一,、質(zhì)譜儀84
�,、離子信號檢測系�(tǒng)87
第五節(jié)二次離子�(zhì)譜儀90
一、二次離子質(zhì)譜儀的分�90
�,、IMS�6F型二次離子質(zhì)譜儀93
�,、樣�95
第六節(jié)二次離子�(zhì)譜法的功�95
一、深度剖�95
�,、絕緣樣品的分析108
�,、質(zhì)譜分析——質(zhì)量掃�109
四、線掃描,,二次離子質(zhì)譜的橫向線分�110
�,、微區(qū)分析110
六、三維分�112
第七節(jié)二次離子�(zhì)譜法的定量分�112
第八節(jié)二次離子�(zhì)譜法的應�118
一,、質(zhì)譜分析——大分子有機物的鑒別118
�,、深度剖析——IC工藝的探�120
三、線掃描分析——金屬中雜質(zhì)氫的檢測121
�,、同位素分析——核燃料235U是否給周圍環(huán)境帶來放射性污染的
檢測122
�,、二次離子圖像分析——馬口鐵組分的三維分�124
�,、絕緣樣品的分析——雜�(zhì)在SOI材料中的分布124
七、高深度分辨率分析——IC工藝的淺�(jié)剖析125
�,、硅中痕量硼二次離子�(zhì)譜定量分析的�?,F(xiàn)�126
參考文�128
第四章激光微探針�(zhì)譜法130
第一節(jié)引言130
第二節(jié)激光束132
一、激光輻�132
�,、諧振腔133
�,、調(diào)Q(Q開關(guān))技�(shù)134
四、電光調(diào)制Q135
�,、激光的聚焦136
�,、激光的倍頻137
第三節(jié)激光與固體的相互作�138
一、激光等離子體屏蔽概�139
�,、有機物和無機物的激光解�140
第四節(jié)儀�141
第五節(jié)激光微探針�(zhì)譜法的應�146
一,、半導體器件表面及體�(nèi)雜質(zhì)的鑒�147
二、各種材料微區(qū)沾污物的分析149
�,、在生物,、醫(yī)學領(lǐng)域的應用151
參考文�152
第五章加速器�(zhì)譜分�153
第一節(jié)加速器�(zhì)譜分析原�153
第二節(jié)加速器�(zhì)譜裝�155
一、離子源與注入器155
�,、加速器156
�,、高能分析器156
四、粒子探測器156
�,、其他加
本書�(nèi)容分為兩部分:第一部分概括性地敘述了質(zhì)譜法,,特別是無機�(zhì)譜法的起源、發(fā)展和完善過程,,以及在近代自然科學�(fā)展歷程中它所扮演的重要角�,,使讀者得以簡要了解質(zhì)譜技�(shù),并對無機質(zhì)譜有全面概括地了�,。第二部�,,也是本冊書的主要部分,分別從實驗和使用角度描述了輝光放電質(zhì)�,、二次離子質(zhì)�,、激光微探針�(zhì)譜、加速器�(zhì)譜和同位素稀釋質(zhì)譜的基本原理,、實驗方法和主要應用,。并在書末列出了國際最新的原子�(zhì)量、原子量與同位素表等,�
本書適宜從事無機�(zhì)譜分析和借助于無機質(zhì)譜方法進行科學研究的科技人員學習參�,,也可作為大專院校相�(guān)專業(yè)師生的參考書�