目錄:蘇州華維納納米科技有限公司>>LDW-L納米激光直寫系統(tǒng)>> HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)
應用領域 | 化工 | 激光波長 | 405nm |
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特征尺寸 | 100nm | 激光功率 | 120mW至300mW(可選) |
芯片尺寸 | 1英寸 | 刻寫范圍 | 50mm×50mm?至?100mm×100?mm(可選) |
HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)是一款大面積,、高精度、可套刻,、超衍射極限加工的激光直寫系統(tǒng),,可用于晶圓尺寸的大面積微納加工,適用于各種微納結構和器件制造,、小批量微納器件生產等,。該系列包括L50、L100等不同型號,,具有功能強大,、維護簡單、加工分辨率高,、支持多種刻寫模式,、支持多種受體材料等特征。另外,,HWN-L1新型納米激光直寫系統(tǒng)在設計之初保留了充足的物理空間和硬件資源,,以滿足后續(xù)功能升級換代的需求,使產品具有更長的生命周期,。
蘇州華維納納米科技有限公司于2011年注冊成立的高科技創(chuàng)新型公司,,主要從事新型納米光刻技術和無掩模納米光刻機的研發(fā)和產業(yè)化工作。